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Leica EM RES102多功能减薄仪

发布日期:2017/6/20 9:59:11

Leica EM RES102多功能减薄仪

Leica EM RES102多功能减薄仪

产品型号Leica EM RES102

英文名称Multifunctional Ion Milling

仪器简介:

EM RES102 多功能离子减薄仪是莱卡公司生产的一款集TEMSEMLM样品制备功能于一体的全自动桌面式设备。该设备具有高能量离子研磨功能,也能用于低能量及温和的离子束研磨,抛光区域可达25 mm,研磨过程参数全电脑控制。该设备广泛用于无机薄片样品的大面积减薄以有利于TEM观察,也可对样品表面污染层或涂层进行清洁,或用于样品表面的离子束刻蚀和切割。

核心参数:

离子束加速电压调节范围:0.8-10 keV(步长0.1 keV

离子束流:单枪最大4.5 mA(双离子枪)

离子枪倾斜角度:±45°(精确度为0.1°

样品摆动角度:最大360°,每步

样品台倾斜角度:-120°210°(精确度为0.1°

研磨角度范围:-90°90°(由样品台倾斜角度决定)

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