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薄膜高分辨X射线衍射仪

发布日期:2015/6/10 19:49:06

薄膜高分辨X射线衍射仪

PANalytical X’pert MRD型薄膜高分辨X射线衍射仪

 

最大功率:2.2kw (正常使用状况:40kV, 40mA)

 

功能简介:薄膜分析;高分辨X射线衍射;掠入射X射线衍射;织构分析

 

主要性能:theta, 2theta 轴最小步距0.0001,样品台具有(X,Y,Z,Phi,Chi)五个自由度:
Chi
-11°98°  Δ0.01°;Phi-180°to +180°   Δ0.01°;X轴:80mm Δ0.01mm;Y轴:80mm; Δ0.01mm; Z轴:2mm   Δ0.01mm

主要功能:

 

高分辨X射线衍射分析

分析范围:外延薄膜的厚度,晶格参数、失配、应力,化学配比,缺陷、晶粒尺寸、侧向结构

 

掠入射X射线衍射测量

适合做薄膜的相结构,晶格参数、失配、应力,侧向结构和膜层的取向

 

织构测量:

主要用于测量基体和膜层取向

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