PANalytical X’pert MRD型薄膜高分辨X射线衍射仪
最大功率:2.2kw
(正常使用状况:40kV,
40mA)
功能简介:薄膜分析;高分辨X射线衍射;掠入射X射线衍射;织构分析
主要性能:theta,
2theta 轴最小步距0.0001,样品台具有(X,Y,Z,Phi,Chi)五个自由度:
Chi:-11°到98° Δ0.01°;Phi:-180°to
+180° Δ0.01°;X轴:80mm; Δ0.01mm;Y轴:80mm; Δ0.01mm; Z轴:2mm Δ0.01mm
主要功能:
高分辨X射线衍射分析
分析范围:外延薄膜的厚度,晶格参数、失配、应力,化学配比,缺陷、晶粒尺寸、侧向结构
掠入射X射线衍射测量
适合做薄膜的相结构,晶格参数、失配、应力,侧向结构和膜层的取向
织构测量:
主要用于测量基体和膜层取向