功能氧化物薄膜材料有很强的可扩展性和兼容性，在人工智能领域展现出巨大的应用潜力。无铅钛酸钡材料因其具有较低矫顽场、较高剩余极化和良好的抗疲劳性能，在逻辑器件、非易失性存储器和传感器等器件中展现出巨大的应用前景。

近日，西安交通大学贾春林科学家工作室利用脉冲激光沉积系统和射频磁控溅射系统在柔性氟金云母衬底上成功制备全无机柔性无铅BaTiO₃铁电外延薄膜。实验结果表明，该铁电薄膜具有良好的柔性与铁电稳定性：将薄膜弯曲至4 mm时仍具有稳定的铁电性；经历10⁴次机械疲劳后，可保持原状态92.64%的铁电极化；经历10⁶次极化翻转后，仅有3.6%的铁电极化衰退；另外，从室温到100 ℃的温度范围内保持有良好的宽温稳定性。该异质结构在复杂柔性环境中保持稳定的铁电性能，未来有望应用于铁电存储器中。

上述研究成果以“Flexible Lead-Free BaTiO₃ Ferroelectric Elements with High Performance”为题发表在国际微电子器件领域顶级期刊IEEE Electron Device Letters上。西安交通大学微电子学院硕士研究生吴晶莹为第一作者，刘明副教授为通讯作者。参与该工作的还有工作室的贾春林教授、马春蕊副教授、路璐高级工程师。西安交通大学是该论文的第一作者和通讯作者单位。

该研究得到国家自然科学基金重大专项与面上项目 、国家“973”项目及中央高校基本科研业务费等的支持。

文章链接为：https://ieeexplore.ieee.org/document/8693825

刘明副教授主页：http://gr.xjtu.edu.cn/web/m.liu